真空镀膜是一种通过物理方法生产薄膜材料的技术。在真空室中,材料的原子从加热源中分离出来,撞击在被镀物体的表面上。真空镀膜机在正常工作情况下,通电时必须先打开水管,工作中要随时注意水压。
真空镀膜电源在离子轰击蒸发过程中,要特别注意高压线接头,不要触碰,以防触电。用电子枪镀膜时,应在钟罩外围放一块铝板。观察窗的玻璃好是铅玻璃,观察时应佩戴铅玻璃眼镜,防止X射线对人体造成伤害。
在镀多层介质膜的镀层室内,应安装通风除尘装置,及时清除有害粉尘。易燃、有毒物品应妥善保管,防止火灾中毒。酸洗夹具应在通风设备中进行,并应戴上橡胶手套。将零件放入酸洗或碱洗槽时,应轻拿轻放,不得碰撞、溅水。通常酸洗槽应加盖。
真空镀膜有蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀三种形式:当溅射镀膜用高能粒子轰击固体表面时,可以获得固体表面的粒子。能量从表面逸出并沉积在基板上;离子镀蒸发物质的分子通过电子撞击被电离,并以离子的形式沉积在固体表面。所有三种形式的真空镀膜技术都需要快速冷却装置来辅助真空镀膜过程。