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MSD系列小功率直流磁控溅射电源

MSD系列小功率直流磁控溅射电源

  • 所属分类:MSD系列直流磁控溅射电源
  • 浏览次数:
  • 发布日期:2020-06-11 13:54:47
  • 产品概述
  • 性能特点
  • 技术参数

主要型号:

型号

功率(kW)

工作电流(A)

外形尺寸

冷却方式

空载电压(V)

工作电压

(V)

MSD-500W

0.5kW

1.0

482*132*440

(WHD)[3U]


风冷


750


100~500V

MSD-1000W

1kW

2.0

MSD-2000W

2kW

4.0

MSD-5kW

5kW

8.0

482*175*550

(WHD)[4U]

风冷

1000

150~800V


主要特点:
   A 采用先进的电流型开关电源技术,减小输出储能元件,
同时提高了抑制打火及重启速度,应用在铝靶镀膜优势更为明显。
   B 具备恒流/恒功率模式可选。恒功率模式相对于传统的恒流模式,
更能保证镀膜工艺的重复性。
  C 具有理想的电压陡降特性,自动识别伪打火现象,
充分满足磁控溅射工艺过程的连续性。
  D 可选择手动控制/模拟量接口控制,可选配RS485通讯接口。
  E 专门为试验型真空设备定制,相对生产型设备的直流磁控溅射电源
为客户减小电源体积和降低成本
采用先进的PWM脉宽调制技术,使用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件,
体积小、重量轻、功能全、性能稳定可靠,生产工艺严格完善。
该系列产品采用先进的DSP控制系统,充分保证镀膜工艺的重复性,
并且具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能,
具有极佳的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性,又提高了靶面清洗速度;
主要参数均可大范围连续调节;
方便维护,可靠性高;
PLC接口和RS485接口扩展功能,方便实现自动化控制。


主要用途:

直流磁控溅射用于镀制各种金属。


真空镀膜电源的故障现象分析及排除,在实际使用的过程中,真空镀膜机就出现过不少故障,其中高压电源部分的故障较多,也比较复杂,下面就几种典型的故障进行分析。

真空镀膜电源

1、增加电子束流时,高压没有指示

真空镀膜机在正常工作的时候,设备的主开关电路中的开关管处于饱和的导通状态,当管压下降保持在100V左右的时候,栅极得到正偏压50V,高压指示6kV(或10kV)。从检测电路上得到的电压控制信号不足以使稳压管击穿导通。在不正常的情况下,增加束流时,由于束斑的位置不在中心,电子束可能会打到坩埚的边缘,或者束斑的位置在中心,但蒸镀的材料被打穿等原因,都会出现高压无指示。这是由于高压输出被近似短路,造成电子束流大于预定的值,主开关管处于截止状态,承受全部的高压,让高压无法输出。由于打火而造成束流过大的时候,在电流检测电路时取得的过流信号,使得稳压管被击穿导通,管压处于导通状态,这时高压就没有指示了。


2、无束流时,高压指示不稳定

在正常的情况下,即使有束流高压指示也应该是稳定的,无束流时高压指示不稳定,高压表指针就会来回的摆动,这就是不正常情况。从原理上分析,高压电源和负载有问题都会出现这种现象。为了便于排查,先将高压电源和负载分开,如果问题还在,就证明问题不在负载那方面,而是在高压电源那方面,高压电源是由高压部分和自动电源的主开关管进行切断的。当有束流时,高压指示频繁的摆动,就是高压出现连续性的过流打火,自动复位部分就开始运行,使得高压电源的主开关管始终处在切断和导通这两种状态,反映在高压表上的指针就金频繁的摆动。在实际的修理过程中发现,有时会出现这种故障并不是由于高压电源内部的原因,而是真空室内有污染,因为设备使用了很多年,钟罩内壁上聚集了许多蒸镀的材料。在有束流的情况下,会产生二次、三次电子,从而产生较大的假束流,使得主开关管不停的导通和截止,高压指示就不稳定了。消除这种故障,可先将电子枪、坩锅、高压电极进行彻底地清洗,如味故障还没有补消除,再将钟罩内所有的器件和钟罩内壁进行彻底的清洗,故障就会被消除,高压指示就不会在频繁的摆动了。


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