输出规格
电压、电流、功率、脉冲频率、占空比、双极性 / 单极性、中频 / 直流 / 脉冲溅射等波形定制。
控制方式
0–5V、0–10V、4–20mA 模拟量控制
RS485、Modbus、Profinet、以太网等通讯协议定制
保护功能
过压、过流、过温、短路、弧光、缺相、缺水等多重保护逻辑可自定义。
结构与安装
柜式、机架式、壁挂式、紧凑型、防爆 / 防腐 / 防尘结构
散热方式:风冷 / 水冷 / 油冷定制
接口与信号
联动信号、急停、远程启停、状态反馈、电弧计数、功率曲线记录。
特殊工艺适配
磁控溅射、多弧离子镀、空心阴极、PCVD、PECVD、射频偏压等专用电源定制。
光学镀膜、装饰镀膜、工具镀膜、玻璃镀膜
半导体、显示面板、太阳能镀膜
科研实验、高校实验室、非标真空设备
旧设备升级改造、进口电源替代
与工艺高度匹配,膜层均匀性、附着力、色差更好控制。
与设备无缝对接,减少改造、调试成本。
智能化程度高,可实现自动工艺、数据记录、远程监控。
稳定性更强,针对客户工况专门优化,故障率更低。
替代进口,交期短、售后快、成本更优。