真空镀膜有蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀膜三种形式:当溅射镀膜用高能粒子轰击固体表面时,可以获得固体表面的粒子。能量从表面逸出并沉积在基板上;离子镀蒸发物质的分子通过电子撞击被电离,并以离子的形式沉积在固体表面。
所有三种形式的真空镀膜技术都需要快速冷却装置来辅助真空镀膜过程。由于工件在镀膜过程中处于封闭的真空环境中,真空设备失去了很多产品技术和性能。现有的真空镀膜设备也有冷却装置,但其冷却效果不是很理想。
不能满足人们的需要,为弥补现有技术的不足,真空镀膜电源厂家提供一种真空镀膜设备手套箱蒸发一体机。该系统集成了真空镀膜系统和手套箱系统,可在高真空蒸发室中完成薄膜蒸发。样品在手套箱中的高纯度惰性气体气氛下蒸发后储存、制备和测试。为保证涂层产品工艺和性能质量要求而设置的快速冷却系统,可实现快速冷却自动控制的目的。
蒸发镀膜与手套箱相结合,实现了蒸发、封装、测试等过程的全封闭生产,使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个环境气氛可控的完整系统中,无需有机大-区域电路准备。大气环境中不稳定因素的影响,保证了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备。