武汉MSD系列小功率直流磁控溅射电源

主要型号：

主要特点：
   A 采用先进的电流型开关电源技术，减小输出储能元件，
同时提高了抑制打火及重启速度，应用在铝靶镀膜优势更为明显。
   B 具备恒流/恒功率模式可选。恒功率模式相对于传统的恒流模式，
更能保证镀膜工艺的重复性。
  C 具有理想的电压陡降特性，自动识别伪打火现象，
充分满足磁控溅射工艺过程的连续性。
  D 可选择手动控制/模拟量接口控制，可选配RS485通讯接口。
  E 专门为试验型真空设备定制，相对生产型设备的直流磁控溅射电源，
为客户减小电源体积和降低成本
采用先进的PWM脉宽调制技术，使用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件，
体积小、重量轻、功能全、性能稳定可靠，生产工艺严格完善。
该系列产品采用先进的DSP控制系统，充分保证镀膜工艺的重复性，
并且具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能，
具有极佳的负载匹配能力，既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度；
主要参数均可大范围连续调节；
方便维护，可靠性高；
PLC接口和RS485接口扩展功能，方便实现自动化控制。

主要用途：

直流磁控溅射用于镀制各种金属。

真空镀膜电源的故障现象分析及排除，在实际使用的过程中，真空镀膜机就出现过不少故障，其中高压电源部分的故障较多，也比较复杂，下面就几种典型的故障进行分析。

1、增加电子束流时，高压没有指示

真空镀膜机在正常工作的时候，设备的主开关电路中的开关管处于饱和的导通状态，当管压下降保持在100V左右的时候，栅极得到正偏压50V，高压指示6kV（或10kV）。从检测电路上得到的电压控制信号不足以使稳压管击穿导通。在不正常的情况下，增加束流时，由于束斑的位置不在中心，电子束可能会打到坩埚的边缘，或者束斑的位置在中心，但蒸镀的材料被打穿等原因，都会出现高压无指示。这是由于高压输出被近似短路，造成电子束流大于预定的值，主开关管处于截止状态，承受全部的高压，让高压无法输出。由于打火而造成束流过大的时候，在电流检测电路时取得的过流信号，使得稳压管被击穿导通，管压处于导通状态，这时高压就没有指示了。

2、无束流时，高压指示不稳定

在正常的情况下，即使有束流高压指示也应该是稳定的，无束流时高压指示不稳定，高压表指针就会来回的摆动，这就是不正常情况。从原理上分析，高压电源和负载有问题都会出现这种现象。为了便于排查，先将高压电源和负载分开，如果问题还在，就证明问题不在负载那方面，而是在高压电源那方面，高压电源是由高压部分和自动电源的主开关管进行切断的。当有束流时，高压指示频繁的摆动，就是高压出现连续性的过流打火，自动复位部分就开始运行，使得高压电源的主开关管始终处在切断和导通这两种状态，反映在高压表上的指针就金频繁的摆动。在实际的修理过程中发现，有时会出现这种故障并不是由于高压电源内部的原因，而是真空室内有污染，因为设备使用了很多年，钟罩内壁上聚集了许多蒸镀的材料。在有束流的情况下，会产生二次、三次电子，从而产生较大的假束流，使得主开关管不停的导通和截止，高压指示就不稳定了。消除这种故障，可先将电子枪、坩锅、高压电极进行彻底地清洗，如味故障还没有补消除，再将钟罩内所有的器件和钟罩内壁进行彻底的清洗，故障就会被消除，高压指示就不会在频繁的摆动了。